 Т38
 Пирс К., Адамс А., Кац Л., Цай Дж., Сейдел Т., Макгиллис Д.
 Технология СБИС: В 2-х кн. Кн. 1. Пер. с англ. / Под ред. С.Зи. - М: Мир, 1986. - 404 с., ил.
 В книге ведущих американских специалистов освещены вопросы технологии изготовления кремниевых ИС.
 В книге 1 рассмотрены вопросы получения монокристаллов кремния, подготовки подложек, выращивания эпитаксиальиых слоев, осаждения пленок различных материалов, термического окисления, диффузии, ионной имплантации, а также литографические методы формирования топологических рисунков с субмикронными размерами элементов.
 Для студентов старших курсов вузов соответствующего профиля, аспирантов и специалистов в области проектирования, технологии изготовления и применения ИС.

 Редакция литературы по новой технике